EUV光刻机的死对头出现了！才实现了5nm量产，又将冲刺2nm芯片

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芯片这工具，说白了就是现代科技的焦点，手机电脑到汽车飞机，全靠它来驱动邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。可这玩意儿的生产，一向被少数几家公司把控，特别是荷兰的ASML，他们的极紫外光刻机几近把持了高端市场，装备一台顶得上好几栋楼的钱，还得排队等货邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。成果，日本的佳能忽然杀出来，搞了个纳米压印技术，间接对标ASML的EUV，宣称本钱低、能耗少，还能干到5nm级别，甚至瞄准2nm邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。这事儿从2023年起头闹腾，到现在2025年了，还在延续发酵邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。
佳能不是新手，他们从2004年就钻研这个，开初是尝试室小打小闹，测试模板怎样压图案到硅片上，避免变形和缺点邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。阿谁时辰，行业里大师还感觉压印太原始，不如光刻靠谱邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。可佳能没放弃，2008年他们弄出第一台原型机，能处置50nm线宽的简单图案，首要用于内部考证邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。接着，2014年他们大手笔收买了美国的Molecular Imprints公司，拿到了一堆专利，特别是放射式涂布系统，这让装备更高效，能均匀地把树脂喷到晶圆上邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。

收买后，佳能团队在日本工场建了测试线，模拟实在生产情况，跑了上千小时的数据，优化压印力和瞄准精度邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。到了2017年，装备升级，能搞定20nm图案了，他们用红外传感器实时监控模板位置，误差控制在1nm之内邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。这步步推动，不是一挥而就邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。2020年疫情闹得利害，佳能也没闲着，远程合作调参数，重点处理树脂里的气泡题目，由于气泡一多，图案就轻易缺损邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。2022年，他们内部演示了在300mm晶圆上转移多层结构，比如存储芯片的垂直通道，这让外界起头留意邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。
终究，2023年10月13日，佳能在东京正式公布FPA-1200NZ2C这款装备，号称能实现最小14nm线宽，相当于5nm逻辑节点邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。装备的焦点是间接用模板压图案到基材上，不走光学途径，所以避开了衍射极限，能忠厚复制复杂外形邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。佳能说，这套系统能源消耗只要EUV的10%，装备价格也只是对方的1/10左右邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。体积小了30%，安装起来简单，只需标准干净室邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。公布那天，行业协会开了专题会，专家比了比缺点率，压印早期每平方厘米缺点不到0.1个，还兼容现有生产线，能跟干法刻蚀啥的搭配邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。市场分析师感觉，这对亚洲的中小芯片厂是福音，由于门坎低了邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。

佳能计划每年出10到20台，首要卖给内存和逻辑芯片厂商邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。软件部分支持自动调剂压印时候，每片晶圆周期缩到30秒，还带故障诊断，能报模板磨损邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。媒体报道说，这技术不靠高功率激光，省电又环保邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。公布后，半导体圈子炸锅了，ASML的股价小跌，由于大师感觉合作来了邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。佳能跟大学合作，建培训中心，教操纵技能邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。2024年头，装备进小范围试产，佳能自家工场跑了数百小时，收集算法优化数据邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。树脂选低粘度的，确保活动均匀无空洞邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。模板概况涂金刚石类材料，耐刮擦，能用几千次邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。行业会上，佳能秀了跟离子注入机的兼容邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。
多家企业感爱好，美国的内存厂商起头评价集成难度，佳能供给定制接口帮手过渡邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。2024年中期，他们公布扩大到更小节点，经过邃密刻蚀模板邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。整体看，这事务让芯片制造多了一种挑选，下降了入门本钱邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。佳能的野心不小，他们想从边沿市场切入，先拿下内存芯片，再应战逻辑处置器邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。缺点控制是关键，晚年压印轻易有粒子净化，现在他们用真空腔体防空气干扰邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。

产量方面，单台每小时处置晶圆数比光刻机少，但本钱低，合适批量不大的生产邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。全球光刻机需求2023年涨了15%，压印分流了部分定单邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。佳能高管在消息会上婉言，这不是取代EUV，而是补充，特别在能源严重的时代邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。外界评价分两派，一派感觉反动性，另一派说缺点和产量还需时候考证邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。总之，这事儿从尝试室走到商用，佳能花了20年，步步稳扎稳打邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。
装备公布后，佳能没闲着，顿时跟厂商合作调参数邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。FPA-1200NZ2C用墨水放射把树脂精准滴到晶圆指定区，模板压下紫外固化，避免浪费邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。2023年末，内部测试稳了5nm电路，线宽均匀邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。2024年3月，美国美光科技引进了样机，控制静态随机存取内存本钱，他们改模板结构适配生产线邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。瞄准用激光校正到纳米级邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。佳能流露，能推到2nm，经过升级材质和压力，缩小尺寸邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。

日本工场秀了2nm原型，边沿粗糙度1nm以下邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。高管在钻研会上说，压印绕波长限，能复制立体结构如鳍式晶体管栅极邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。进入2025年，佳能建新厂，投资500亿日元，三倍减产NIL系统邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。9月报道，新宇都宫厂专注先辈芯片，鞭策技术落地邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。中国企业也盯上这块，开辟类似装备绕ASML限制邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。NIL在3D NAND和光子芯片上潜力大，本钱效益高邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。

2024年9月26日，佳能把首台FPA-1200NZ2C送到美国德克萨斯电子研讨所，用于考证和优化邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。测试显现2nm模拟稳，但气泡缺损需改真空和树脂邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。2025年，佳能跟供给链推模板标准，满足全球需求邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。面临ASML合作，他们加研发预算，方针两年商用邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。产量瓶颈还在，每小时晶圆少于光刻机邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。公司继续托付堆集经历，让压印成高端选项邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。到现在，NIL还没大范围量产，但研发活跃，缺点率降了，合适特定范畴邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。未来看，芯片业多样化了，本钱降，更多玩家入场邃密化治理确保了掘进全进程的精度与平安。